UnitySC 4SEE
UnitySC 4SEE
4See系列是高精度、高产能的表面形貌检测系统,可正/背面同时测量,全表面检测。
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  • 基本配置
  • 产品优势
  • 产品应用
  • • 主要技术

    - 相偏移

    - 2D/3D 线性扫描共轭焦

    - 暗场

    • 线性扫描模组

    - 高景深, 高精度

    - 多线扫描,无shadow effect

    • Deflector模组

    - 晶圆全表面检测

    - nm精度,高throughput,

    - 正/背面同时测量

    - 晶圆表面形貌性能检测

    • 晶边模组

    - 高速全晶圆晶边表面检测

    - Top表面,Top BEVEL,apex,Bottom bevel,bottom 表面检测

    • Darkfield 模组

    - 高速颗粒和表面形貌检测

    - 正/背面同时测量

    - 低COO

    • 支持多功能模组集成

    • 晶圆正面/背面/晶边全表面检测

    • 正/背面同时测量

    • 3D量测技术

    • 高精度高throughput

    • 晶圆减薄和背面金属化

    • u-bumping

    • 晶圆基底

    • RDL&Interconnect

    • MEMS

    • 晶圆切割

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