UnitySC  NST
UnitySC NST
NST是高精度薄膜厚度及晶圆表面形貌检测设备。全自动化高速率在线量测, 高精度,多传感器,多光源,多倍率选择。
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  • 基本配置
  • 产品优势
  • 产品应用
  • • 量测/光学技术

    - 相偏移(PSI)

    - 垂直扫描干涉(VSI)

    - 时域红外光谱 

    - IR microscopy

    - 白光干涉

    • 量测工艺特点

    - 8‘’,12‘’晶圆

    - 单层、多层film量测

    - 纳米范围表面形貌量测

    - Roughness/overlay/dishing and erosion/deep trench量测

    - TTV/BOW/CD和step height量测

    - lateral 精度极限:0.2um,vertical 精度0.1nm

    - Roughness 精度>0.15nm Sq.  Repeatability:0.15nm+1%

    - Overlay 精度极限:40nm, Repeatability:20nm+1%


    • 支持多功能模组集成

    • 晶圆正面/背面/晶边全表面检测

    • 正/背面同时测量

    • 3D量测技术

    • 高精度高throughput

    • Cu CMP

    • Front end Etch

    • Hybrid bonding:Pre和Post 封装

    • Front end CMP


    Delivering growth – in Asia and beyond.

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    大昌华嘉半导体光伏和电子