Tango Systems, Inc
Tango Systems, Inc
Tango Systems, Inc.总部位于美国硅谷,是一家着力于高性能,提升成本效益的半导体等级磁控溅射镀膜设备(PVD)的行业创新者。


Tango可提供三种已验证的PVD平台:Axcela™、Onyx和Topaz。产品在全球范围内广泛应用于EMI Shielding, BSM, MEMS, TSV, FOWLP等应用。

设备简介

Axcela™

Axcela™, 作为全新的团簇设备平台,在全球范围内应用于大批量生产。

易于使用,能够用低的拥有成本(CoO)为特定的应用搭配优选工艺。每一个溅射腔体标准配置可安装三种不同的靶材,也可选配存放第四种材料。

Axcela™可应用于EMI Shielding、BSM、MEMS、TSV、UBM以及RDL等,可满足从200mm到300mm,或330mm特定应用的不同晶圆尺寸、基底或工艺及产量需求。

Onyx

Onyx是占地面积非常小的紧凑型设备,拥有独立的模块提供各类所需功能,包括DeGas,Pre-clean,溅射沉积及高真空自动传输腔体等。

Topaz

Topaz工艺技术及设备平台是特別为扇出型晶圆级封装(FOWLP)、LCD显示器及PCB等应用而开发的, 使得Fan Out 技术可以实现且价格更易于接受。更低的成本将使这项技术能扩散到半导体封装的各个应用,如移动电子(SiP、APU、GPU、RF、电源管理、存储设备)、汽车及物联网(IOT)等。

Delivering growth – in Asia and beyond.

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