INDEOtec SA
INDEOtec SA
INDEOtec SA是一家位于瑞士纳沙泰尔(Neuchâtel)的设备生产商,专注于制备薄膜太阳能电池的PECVD工艺。


INDEOtec与诸多公立及私立研究与发展机构合作进行大量的研发项目。为异质结高效电池研发、生产提供助力。

发展历程

1981:Jacques Schmitt先生研发出用于Large Area Coating的 “Plasma-Box” RF-PECVD 反应器概念 。
1996 - 2005:当时供职于Oerlikon的Schmitt先生和Shojaei先生研发出用于FPD 大批量生产的第六代PECVD设备
2007:公司成立,着力于将全新的PECVD反应器概念转为现实。
2009-2010:研发出代OCTOPUS I设备,搭载有PECVD RF反应器可处理5寸晶圆。
全新OCTOPUS II面世,可配备PECVD和PVD模组,处理450x350mm基板或4x6寸晶圆。
2016-2017:研发出OCTOPUS III,可用于异质结电池大批量生产

INDEOtec主推的OCTOPUS II和OCTOPUS III平台使双面沉积变得简单,提供始终如一的高质量薄膜。


- 专利镜面反应器概念

- 抗交叉污染处理

- 无需破真空

- 无需翻转硅片

Delivering growth – in Asia and beyond.

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